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詳細盤點MFC流量控制器都有哪些主要的設備優點

發布時間:2021-09-03      點擊次數:131

    MFC流量控制器,即MassFlowMeter(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。

    質量流量控制器,即MassFlowController(縮寫為MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。

    MFC流量控制器的主要優點是什么?

    (1)流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。

    對于多數流量測控系統而言,很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動將導致較大的誤差;對于質量流量計/質量流量控制器,則一般可以忽略不計。

    (2)測量控制的自動化

    質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制器而言,還可以實現流量的自動控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA,數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口,能非常方便地與計算機連接,進行自動控制。

    (3)精確地定量控制流量

    質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

    (4)適用范圍寬

    有很寬的工作壓力范圍,我們的產品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產品最小流量范圍可達0~5sccm,最大流量范圍可達0~200slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2~100%(量程比為--50:1),因此在很多領域得到廣泛應用。
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